极高真空的获得是建立在超高真空技术之上的。

　　在非常低的压力下，维持泵的抽气作用是个重要问题。由于多数真空泵在超高真空范围内抽速就开始降低，因此许多真空泵在极高真空范围其抽气作用已经停止或者大大地减小了。

　　选用一些在非常低的压力下仍然有实际抽速的泵是能否获得极高真空的关键。

　　有些泵(如油犷散泵)的抽速并不减小，但由于工作介质、材料放气等因素，使得要获得低于泵的极限压力的工作压力非常困难。

　　为此使用这类泵时，在利用它抽气的同时，也要用阱阻挡泵的返流。

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