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氮化钛(TiN)涂层技术分析
发布时间:2014-10-31 浏览:4900 次

  氮化钛涂层是自PVD技术发明以来,最常见的一种涂层,具有较高的性价比,也是之前运用的最广泛的一种PVD涂层,它具有较高的薄膜硬度。

  用磁控溅射方法沉积的氮化钛沉积速度慢,表面颗粒小所以表面光滑,而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度较低。

  用磁控阴极弧的方法沉积的氮化钛,沉积速度快,但表面颗粒大,所以表面光洁度较差,液滴等表面缺陷也较多,但是可以获得较高的表面硬度。

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