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真空镀膜机扩散泵维护要点?
发布时间:2023-03-09 浏览:1575 次

  1、真空镀膜机扩散泵的冷却水在工作过程中一定要平稳,停止加热后,待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。

  2、扩散泵停止工作时,应保持泵处于真空状态,以免泵油变质。

  3、被扩散泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。

  4、如果扩散泵暂时不使用,储存时应保持真空状态,以免泵油污染和腐蚀各部件,并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间。

  5、扩散泵性能在长期工作后会逐渐恶化,应定期检查。如、泵油是否被还原或氧化,按相应要求进行加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丙酮擦洗,在80-100摄氏度下烘干或用吹风机吹干。加工后,依次组装,保持泵芯与泵底垂直,泵腔同心,各级喷嘴间隙应按原要求调整。

  6、待水挥发干燥后,安装泵芯,添加新的扩散泵油,并安装回机体,连接水管,安装炉板,即可重新启动。

  7、在重新开启真空镀膜机之前,要注意检漏。方法是、启动维修泵,关好门,几分钟后,观察真空度,并检查连接处密封胶圈是否泄漏,或密封圈是否断裂。隐藏的漏气可以在消除前加热,否则扩散泵油烧坏无法进入工作状态

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