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真空镀膜机离子泵维修要点?
发布时间:2023-04-10 浏览:1515 次

  离子泵是一种可以应用于超高真空下的清洁无油真空泵,以下离子泵维修内容仅供学习。

  一、关于烘烤。

  溅射离子泵如果长期暴露于大气中,会因为泵内的钛沉积层吸附水汽,导致泵启动困难、极限压力升高、抽速变小等问题,因此启动前需要经过烘烤。烘烤时需要将磁钢、各种引线、橡胶密封圈等拆下,缓慢升温至250~300℃,然后恒温12小时,并且保证烘烤时泵内真空度不低于0.1Pa。

  二、清洗处理。

  离子泵如果受过油蒸气或者其他有机物污染,阴极板氧化或大量排过氢气,会影响到它的真空度。这时一般会在烘烤除气后再进行氩清洗处理。

  过程是用氩离子轰击钛板,将阴极板上的污染物或溶解在阴极板里的氢轰击出来,再被大量溅射的钛所吸收或埋葬掉。充氩压力维持在10-2Pa量级或观察离子流维持早10~200mA之间摆动。整个清洗过程大约在1~2小时。

  三、使用压力与寿命。

  离子泵的溅散率取决于轰击的离子数与能量,压力越高,阴极溅射越剧烈,因此它的使用寿命是与工作压力成法比的。所以虽说溅射离子泵的工作压力范围可以从1Pa到10-10Pa,但为提高溅射离子泵的使用寿命,尽量不要在10-2Pa以上的压力范围下工作。

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