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真空镀膜机最主要部件的功能 |
发布时间:2014-01-07 浏览: 次 |
现在的真空镀膜机设备是做得越来越好了,由一开始功能比较单一的发展到现在多功能结合的真空镀膜机,而且还会做得更好。 对于真空镀膜机的真空室,可以用不锈钢或碳钢或其两者组合使用制作,做成单开门或者又开门,可以通过利用电阻加热,也可以利用感应加热,如果是电阻加热的话,使用的材料有石墨、钨、钽、钼、镍铬这几样,加热后要进行保温,设置了保温层就可以提高加热的效率,以免热量快速散失,一般有金属保温层和复合保温层。 为了更好的测试、稳定室内温度,使用测温仪器和控温仪器,避免温度过高或不达标,抽气系统由各种真空泵及附件按其各自功能组装使用,常见的有机械泵、罗茨泵、扩散泵,抽气过程中由真空测量仪器显示真空度,以保证真空度的精准度,这些是比较主要的部分.
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