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扩散泵的工作原理是怎样? |
发布时间:2024-12-13 浏览: 次 |
扩散泵的工作原理是通过电加热器(电炉)将装在泵腔内的液态工作介质加热,使其变成蒸汽。这些蒸汽通过安装在泵腔里的喷嘴高速喷出,形成低密度、高速度的蒸汽射流。 被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中,被下一级蒸汽射流带走,最后由前级泵排出。工作蒸汽到达水冷的泵壁后冷凝成为液态,沿着泵壁流回油锅,重新被加热变成油蒸汽,这样周而复始的工作形成了扩散泵的正常抽气过程。12扩散泵的优缺点: 优点:扩散泵能够获得高真空,适用于10^-1至10^-7 Pa压强范围的高真空环境。由于其工作原理基于气体分子的扩散和蒸气分子的能量传递,因此具有较高的抽气效率和稳定性。 缺点:扩散泵不能直接从大气压开始工作,需要与前级泵组合使用。此外,油蒸气可能会对某些真空系统产生污染。 应用领域:扩散泵广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验以及对油污染不敏感的真空系统中。由于其高真空的特性,它特别适用于需要高真空环境的科研、生产和教学领域。 本文由扩散泵维修厂家爱加真空收集整理自网络,仅供学习和参考! |