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分子泵的工作原理? |
发布时间:2024-12-18 浏览: 次 |
分子泵的工作原理基于高速旋转的转子将动量传输给气体分子,使其获得定向速度,从而被压缩并驱向排气口。 分子泵主要由电动机、转子和定子组成,转子的旋转叶片和定子的固定叶片两两间隔,形成多个压缩单元。电动机高速旋转时,带动转子将气体从入口抽入,并通过每个压缩单元对气体进行压缩,最终将气体驱向排气口,实现高速抽真空。1工作过程 气体入口:气体通过分子泵的入口进入泵体。 动量传输:电动机驱动转子高速旋转,转子的叶片通过与气体分子碰撞,将动量传输给气体分子,使其获得定向速度。 压缩过程:气体在每个压缩单元中经过压缩,通常经过10到40个这样的过程后,气体被压缩并驱向排气口。 排气:最终,气体被排出泵体,实现高压缩比的高速抽真空。 关键部件和特性 转子:高速旋转的转子叶片,通过与气体分子碰撞传递动量。 定子:固定叶片,与转子叶片间隔设置,形成压缩单元。 转速:分子泵转子的转速通常在20,000到90,000转每分钟之间,转速越高,排气速度越快。 本文由真空镀膜设备厂家爱加真空收集整理自网络,仅供学习和参考! |