真空系统的保养对于维持其性能、延长使用寿命和确保操作安全至关重要。下面是真空镀膜机日常维护和保养的一些知识仅供学习：

　　一、定期检查与维护

　　泄漏检测：定期使用氦质谱仪、真空计或丙酮喷雾法检查系统是否存在泄漏(尤其是焊缝、密封件和阀门处)。

　　真空度监测：记录真空泵的极限压力和抽速，异常下降可能提示泄漏或泵故障。

　　清洁内部：防止灰尘、颗粒或冷凝物积聚(特别是扩散泵、冷阱、腔室等)，使用无尘手套和专用清洁剂。

　　分子泵：

　　避免在低真空下启动，防止轴承损坏。

　　定期检查振动和噪音，异常需停机检修。

　　二、密封与连接部件

　　密封圈(O型圈、法兰密封)：

　　定期检查老化、裂纹或变形(常用材质如氟橡胶、丁腈橡胶)。更换时涂抹真空脂(如硅脂)，避免过度挤压。

　　阀门与法兰：

　　确保阀门开关灵活，无卡滞;金属密封阀需检查密封面磨损。

　　法兰连接螺栓需均匀紧固，防止应力不均导致泄漏。 2、真空泵的维护

　　油润滑泵(旋片泵、扩散泵)：定期更换油(根据使用频率，一般每3-6个月)，旧油会降低抽气效率。检查油位和油颜色，若油浑浊或乳化，需立即更换。

　　避免泵油返流到真空腔室，停机前可通大气或使用防返油阀。

　　干式泵(涡旋泵、螺杆泵)：清洁泵腔内的颗粒物，防止磨损。检查轴承和密封件磨损情况。

　　三、冷阱与过滤系统

　　冷阱：定期除霜(若用于冷凝水蒸气或油蒸气)，避免冰堵。

　　过滤器：更换或清洁入口过滤器(防止颗粒进入泵内)，特别是处理粉尘或腐蚀性气体的系统。

　　四、记录与备件

　　维护日志：记录每次保养时间、更换部件和真空性能数据。

　　备件储备：常备易损件(密封圈、泵油、过滤器等)。

　　五、特殊系统注意事项

　　超高真空系统：需高温烘烤除气，使用无氧铜密封等特殊材料。

　　腐蚀性气体系统：选择耐腐蚀泵和管路(如PTFE涂层)，增加洗涤装置。

　　六、环境与操作习惯

　　环境清洁：保持实验室/车间清洁，避免灰尘进入系统。

　　规范操作：避免突然抽高真空(尤其是有液体或松散材料的腔室)。

　　七、电气与安全

　　电源与冷却：

　　检查泵的冷却系统(水冷或风冷)是否正常，避免过热。

　　确保电源电压稳定，电机电流无异常。

　　安全防护：系统停机时先泄压(避免油泵倒吸)。处理有毒或腐蚀性气体时，配备废气处理装置(如碱液吸收罐)。停机顺序：先关闭高真空阀，再停前级泵，最后通大气。

　　本文由真空镀膜机厂家爱加真空收集整理，仅供学习和参考!

  上一篇： 2025深圳电子展暨2025深圳真空专题展览会

  下一篇：2025中国（深圳）国际真空镀膜技术及设备展览会