polycold是低温水汽捕集泵，（waer vapor cryopump）的一个品牌，Meissner 先生发明了这个产品，（waer vapor cryopump）和相关的应用，并注册了品牌Polycold。目前该品牌是属于 美国brooks公司，国内用户对这个产品多直接使用Polycold称呼。-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump又称POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵、超低温捕集泵。

Polycold应用原理

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

Polycold维修

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