一、操作前准备

　　检查设备电源连接是否稳固，各阀门处于关闭状态

　　准备好所需靶材和基片，确保表面清洁无杂质

　　穿戴好防护装备(手套、护目镜等)

　　二、抽真空流程

　　先启动机械泵(旋片式或滑阀式)，将腔体抽至初级真空

　　当真空度达到10-1Pa后，可启动扩散泵获取更高真空

　　注意观察真空计读数，达到工作真空度(通常10-3Pa以上)才能开始镀膜

　　三、镀膜操作

　　蒸发镀膜：

　　将靶材装入蒸发源

　　逐步升高加热功率至靶材蒸发温度

　　通过挡板控制镀膜启停

　　溅射镀膜：

　　设置合适的溅射功率

　　调节工作气体(如氩气)流量

　　开启射频电源进行溅射

　　四、日常维护

　　定期更换机械泵油(建议每3个月或500工作小时)

　　清洁镀膜室残留物，避免交叉污染

　　检查各密封圈的完好程度

　　记录设备运行参数，建立维护档案

　　五、安全注意事项

　　设备运行时禁止打开腔体

　　高温部件需冷却后才能接触

　　处理靶材时避免直接皮肤接触

　　紧急情况立即按下急停按钮

　　六、常见问题处理

　　抽速慢：检查管路是否漏气、泵油是否需要更换

　　真空度不达标：排查密封性问题或泵组工作状态

　　薄膜不均匀：调整基片转速或蒸发源位置

　　通过规范操作和定期维护，可确保真空镀膜机稳定运行，延长设备使用寿命。建议每次使用后做好清洁工作，并记录当次工艺参数以备后续参考。

　　本文由真空镀膜机厂家爱加真空整理发布，仅供学习!

  上一篇：真空镀膜技术的七大核心优势

  下一篇：暂无