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真空镀膜机所有的零部件当中最重要的就是真空泵了，真空泵如果出了故障，镀膜设备就没办法正常工作了，所以今天我们就跟大家介绍一下，真空泵小故障该如何解决吧！
1、旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油，冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。
解决办法：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。
2、喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气口暴露大气。
解决办法：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀片。
真空镀膜机真空泵真空度下降怎么办？
3、被抽气体的温度可能过高。
解决办法：降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。
4、配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等，造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。
解决办法：检查间隙是否过大，更换新的零部件。
5、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。
解决办法：检查油路是否畅通，并加同类型的真空泵油。
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