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真空镀膜设备滑阀泵的工作原理
发布时间:2014-08-08 浏览:  次

  “滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵类似,但两个泵的结构却不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。”

  滑阀泵虽然是一种老泵,但与旋片泵等比较,它具有允许工作压力高(10000pa)、抽气量大、能在恶劣环境下连续工作,经久耐用等突出特点,所以在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等行业得到广泛的应用。

  目前真空行业中广泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的选片泵和中、大型的华发泵。

  旋片泵在较脏的工作条件下,旋片泵在转子槽中卡住。

  尽管滑阀泵对这一缺点有一定程度的克服,但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值,虽然结构上采取了一些平衡措施,但尚不能达到完全平衡,故振动难以完成消除。尤其泵的容量越大,振动亦更大。

  特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。

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