真空系统抽空加热排气工艺这是一种普遍用于扩散泵系统获得超高真空的排气方法。

　　它与单纯排气工艺不同的是，在抽气到低真空或高真空时，容器进行加热除气。

　　低温容器的加热方法可分为内加热和外加热及内外全面加热。其中低真空时的全面加热抽气效果较好。

　　低温容器采用该工艺排气时，要比单纯排气工艺所需要的抽气时间有数量级的缩短，而且吸附剂活化要好一些。因此它是从多层绝热问世以来，一直到20世绝70年代初被普遍采用的排气方法。

　　该工艺效果较好的原因是温度作用：

　　1、提高材料温度后，可缩短分子在表面的吸附时间，增加材料内部气体的扩散系数，大大加速绝热材料和吸附剂的放气过程。

　　2、提高温度，除了使扩散系数增加之外，还因绝热层内的材料放气加快，层与层和空间的压差也增大，从而使绝热层的渗透量增加，提高了“渗透抽气”能力。

　　3、当空间气体分子的温度升高时，分子运动速度加快，穿过绝热层窄缝抽气通道和抽气嘴的能力增大，使绝热层和抽气口的流导稍有增加。

　　该工艺存在的问题是：

　　1、加热是在抽气过程中进行的。由于容器的超绝热性能，加热非常困难，使得绝热材料和吸附剂升温到允许最高温度的时间长，而且温度分布不均匀，限制了述温度作用的影响。

　　2、未能解决前述的水蒸气抽出困难的问题。

　　3、抽气时间长。

　　4、吸附剂再活化困难。

　　5、存在油蒸气返流的影响。

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