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Polycold 水汽捕集泵的工作原理 | ||
发布时间:2014-11-15 浏览: 次 | ||
polycold 快速循环水汽深冷泵 (Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麦斯纳(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,从而达到捕集水汽的目的。 A 冷冻机 B 冷媒传送管 C 冻连接头 D 真空腔壁 E 冷冻界面
A 冷冻机 B 冷媒传送管 C 真空控制阀 D 冷冻盘 E 真空帮浦
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