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| 真空镀膜机膜厚如何测量？ |
| 发布时间：2014-12-12 浏览： 次 |
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在使用真空镀膜机镀膜之后，为了需要可能会要测量膜层的厚度，测量膜层的厚度用什么方法呢? 最直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM)，这种仪器可以直接驱动蒸发源，通过PID控制循环驱动挡板，保持蒸发速率。 只要将仪器与系统控制软件相连接，它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精确度是有限的，部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。 此外虽然QCM在较低温度下非常稳定，但温度较高时，它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中，很难阻止传感器跌入这个敏感区域，从而对膜层造成重大误差。 光学监控是高精密镀膜的的首选监控方式，这是因为它可以更精确地控制膜层厚度(如果运用得当)。 精确度的改进源于很多因素，但最根本的原因是对光学厚度的监控。
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