展览时间：2022年5月26-28日 

　　参展范围 

　　1、真空获得设备：旋片真空泵、油扩散泵、罗茨真空泵、油增压泵、涡轮分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵等真空获得设备;

　　2、真空应用设备：各种真空冶金设备与热处理设备、真空电镀设备、真空冷冻干燥设备及包装设备等;

　　3、真空镀膜设备：包括各种靶、靶材、消耗材料及各种电源;真空镀膜加工;

　　4、纳米科技与装备、纳米材料与纳米器件;

　　5、真空阀门及真空零部件：包括各种真空电子元器件、真空系统附件及真空动、静密封器件等;

　　6、真空测量与校准仪器、仪表及真空检漏仪器;

　　7、真空材料、真空泵油及真空工程配套设备;

　　8、各种表面仪器(AES、SEM、XPS、SIMS等)及分子束外延设备(MBE)。

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