擴散泵的工作原理

    擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之壹。擴散泵是壹種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。

高真空泵擴散泵主要結構有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等。

    擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由於擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高於蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞後，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮，最後由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝後又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。

擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為機器能運作在最佳狀態，平時對擴散泵的維護和保養非常重要。

1,擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱後必須保證泵工作液已完全冷卻後方可關閉冷卻水。

2,擴散泵停止工作時，泵內應保持真空狀態，以免泵油劣化。

3,被抽氣體應是幹燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。

4,擴散泵如暫時不用，保管期間應該保持真空狀態，以免泵油汙染和各零件腐蝕並將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場地的室溫應在10-40攝氏度之間。

5,擴散泵在長期工作後性能會逐漸變壞，應定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然後用丙酮進行擦洗，並置於80-100攝氏度溫度下烘幹或用電吹風吹幹。處理完後，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。

6,待水分揮發幹以後裝好泵芯，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。

7,在重新開機前，要註意檢漏工作。方法是：啟動維護泵，關好大門，數分鐘後，觀察真空度是否6*10的0帕，否則要進行檢漏，檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒壞，無法進入工作狀態